在被抽器件或工作室内有合适的残气成分实践证明，单纯提高和保证极限真空度及工作真空度是不够的，还应对残余气体成分有一定的要求。例如真空摄像器件，为了保持在一年寿命期内灵敏度的降低不大于巧，要求器件内的残余气体的含氧量应不高于10-2Pa 耐高压的真空开关管内，应不含有碳氢化合物分子等等。真空系统的残气成分，如系统中无其它气源，则主要取决于泵的特性。